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產品詳細說明
INFICON Augent TM光學等離子測量儀是*款緊湊型智能真空監(jiān)測解決方案。
Augent TM將兩種傳感器技術結合到*臺緊湊型設備中，用于監(jiān)測 1 x 10 -7至 5 mbar 的氣體類型，并同時測量 1 x 10 -7 mbar 至大氣的總壓力。Augent TM受到集成皮拉尼傳感器的保護，可在 20 mbar 以上關閉等離子體。快速光學測量原理原則上允許檢測任何類型的氣體。
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