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KLA 表面缺陷檢測系統Candela 8520系列
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品牌： KLA
單價： 面議
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貨期： 現貨
所在地： 美國
有效期至： 長期有效
最后更新： 2025-06-06 14:26
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公司基本資料信息
 
 
產品詳細說明
 　　Candela 8520*二代集成式光致發光和表面檢測系統，設計用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進行高*表征。采用統計制程控制(SPC)的方法來進行自動晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導致的良率損失，*大限度地減少金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)反應器的工藝偏差，并增加MOCVD反應器的正常運行時間。
 
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