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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
十多年來，INFICON Transpector CPM *直是半導(dǎo)體行業(yè)市場**的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)控系統(tǒng)。現(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過與新傳感器和電子設(shè)備集成的經(jīng)過現(xiàn)場驗證的泵送和入口系統(tǒng)提供業(yè)界**的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是適用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等新的和成熟的半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)視器。
Transpector CPM 3 通過以下方式為我們的合作伙伴提供經(jīng)過驗證的投資回報：
行業(yè)**的測量技術(shù)
穩(wěn)健且自適應(yīng)的架構(gòu)
易于維護
卓越的產(chǎn)品支持
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